- сканирование (неровностей поверхности твердого тела)
-
3.7 сканирование (неровностей поверхности твердого тела): Измерение высот неровностей поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации. academic.ru. 2015.